項目 | 名稱 | 參數 |
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性能參數 |
激光頻率穩定度 線性定位精度 分辨率 測量速度 測量距離 |
±0.05ppm ±0.5um/m(±0.5ppm) 最高1nm 可配置 4m/s 20m |
工作條件 |
工作溫度 工作壓力 工作濕度 |
0℃~40℃
60KPa~120KPa
0%~95% 非冷凝
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激光參數 |
激光波長 激光功率 激光穩定時間 出射光斑直徑 |
632.8nm <1mw ≈10min 6mm |
環境補償傳感器 |
環境溫度測量精度
大氣壓力測量精度
大氣濕度測量精度
材料溫度測量精度
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±0.1℃
±100Pa
±5%
±0.1℃
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電氣特性 |
電源電壓
電源電流
調試接口
位置數據反饋接口
通用I/O接口
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24V±10% 2.0A 最大 USB RS422/RS485 串行數據:BISS_C 增量數據:TTL增量方波、1Vpp弦波
24V帶隔離通用I/O點
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