01 激光干涉儀

LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產生的激光波長為基礎，應用高穩定度的激光穩頻率技術，獲得作為測量基準的高精度激光波長；同時使用高精度溫度、大氣壓力、濕度傳感器進行測量環境的補償；并通過與外部光學鏡組配合，實現高精度、可重復、可溯源的相關幾何參數精度測量，是數控機床和坐標測量機等精密設備校準的理想工具。LM-20激光干涉儀延續GDLM-10激光干涉儀的高精度測量性能，同時優化了機械結構和使用性能。

04 產品特點1

高測量速度；最高4m/s的測量速度，滿足幾乎所有的測量應用。

快速啟動：約6分鐘的啟動預熱時間，便于測量現場的快速使用。

長測量距離：長達20m的測量能力，滿足大多數的測量要求。

05 產品特點2

高測量分辨率：可選的測量分辨率，最高1nm。

觸發式測量：適合在待測機器移動時記錄測量值，測量效率高。

多種國際分析標準供選擇：方便用戶選擇自己需要的分析標準，進行多種分析。

06 核心組件（激光頭）

激光的穩頻，發射接收及相關后續處理；環境傳感器數據的接收，上位機軟件的交互。

07 核心組件（環境傳感器）

用于測量環境溫度，材料溫度，環境濕度及大氣壓力；測量得到的環境數據用于干涉儀的精密補償。

08 核心組件（測量鏡組）

1、線性鏡組：用于進行線性測量的光學套件；

2、角度鏡組：用于進行角度及旋轉測量的光學套件。

09 相關組件